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详细介绍
四氯化硅处理成套系统
一、概述
四氯化硅处理成套系统,四氯化硅尾气回收系统是应用于多晶硅生产线的尾气回收装置,利用本回收系统将废气回收成二氧化硅和盐酸,本系统已获,经投放,取得了好的效益。
生产多晶硅是一个提纯过程,主要原料是三氯氢硅,再用氢气进行一次性还原,这个过程中约有25的三氯氢硅转化为多晶硅,其余大量进入尾气,同时形成副——四氯化硅。四氯化硅是危,遇空气遇水会产生对体有害的气体。在这个过程中,如果回收工艺不成熟,三氯氢硅、四氯化硅、等有害物质有可能外溢,存在的安全和污染隐患。而且多晶硅与四氯化硅的生成比例为1:15,即生产一吨多晶硅,就需要处理15吨的四氯化硅,处理量非常大。目前内处理多晶硅在上已经开创出了两个方式,一是将四氯化硅热氢化后再生成生产多晶硅的原料,可以回收利用一部分四氯化硅,但不能回收,还是会产生污染。二种方法就是通过化工工艺将四氯化硅转化成附加值的化工,即无害的二氧化硅,我公司经过几年的与应用,地将本应用于本中,将尾气“变废为宝”。
二、,四氯化硅尾气回收系统工作原理
(1)、四氯化硅提纯:
因四氯化硅中含有一些杂质,为了得到的二氧化硅和盐酸,将四氯化硅在蒸发器中蒸发,再经精馏塔提纯,使其得到纯度非常的四氯化硅气体。
(2)、四氯化硅水解:
纯的四氯化硅气体进入到水解塔内,同时循液通过泵的作用使循液均匀分布到各个雾化器当中,通过雾化器向下喷淋。与进入水解塔内的四氯化硅发生反应,形成硅酸及气体。
(3)、二氧化硅的形成:
硅酸进入压滤系统进行压滤成为滤饼,再进入干燥机干燥后形成纯度为99.85的二氧化硅。
(4)、回收盐酸:
气体进入降膜回收装置,气体与水反应生成盐酸。同时冷却水进入本装置内对进行冷却,以增加的回收效率。
没有反应完的气体再进入下一级吸收塔内,再进行一次盐酸的回收,zui后气体达标。
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